磁控濺射儀
超高真空磁控濺射系統
狹縫擠出型涂布機
等離子體增強原子層沉積系
等離子體增強化學氣相沉積
超高真空多腔室物理氣相沉
金屬有機化合物化學氣相沉
電子束蒸發鍍膜系統
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